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MEMS FOUNDRY SERVICES
分类系列：菲林板、石英板、苏打玻璃板、金属掩膜版
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刻蚀：ICP、RIE、IBE、深反应等离子刻蚀、二氟化氙刻蚀、氢氟酸干法刻蚀
光刻：步进式光刻机、激光直写、双面对准光刻机、电子束光刻机
种类：陶瓷叉指电极、硅基/石英基叉指电极、柔性PI/PET叉指电极、MEMS微加热芯片
MEMS微加热芯片：运用MEMS加工技术，制备出的1mm大小微小型加热器，功耗可低至毫瓦级别...
微流控技术：是使用微管道（尺寸为数十到数百微米）处理或操纵微小流体（体积为纳升到阿升）的系...
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2026-02-05
2026-02-10
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